半導(dǎo)體和電子行業(yè)的需求不斷增長
隔膜真空泵是一種利用隔膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行排氣的真空泵。
隨著近來半導(dǎo)體制造業(yè)和電子設(shè)備工業(yè)的快速發(fā)展,對隔膜真空泵的需求也在增加。
使用了膜片型干泵的技術(shù)!
真空排氣,真空濃縮,過濾,脫氣脫氣,真空吸盤,薄膜吸附,包裝機(jī)械,光學(xué)機(jī)械,真空鑷子,醫(yī)療機(jī)械,印刷機(jī)械等
膜片型干泵的特征
不適用油和液體的清潔真空
膜片型干泵是不使用油或液體的機(jī)械真空泵,非常適用于需要清潔環(huán)境且不受油蒸氣污染的應(yīng)用。
優(yōu)點(diǎn) 由于不使用油,可以清潔排氣
缺點(diǎn) 無法獲得高真空
膜片型干泵的結(jié)構(gòu)
清潔構(gòu)造的氣體輸送
當(dāng)偏心軸(轉(zhuǎn)子)旋轉(zhuǎn)時(shí),動(dòng)力通過連桿傳遞到隔膜。
當(dāng)隔膜反復(fù)上下運(yùn)動(dòng)時(shí),氣體從進(jìn)氣口輸送到排氣口,實(shí)現(xiàn)清潔排氣。另外,每個(gè)口都裝有閥門,可以一直向同一方向輸送空氣。